p12a.xy200z100系列压电纳米定位台*样品校准应用的要求，45mm×45mm的大孔径允许直接将物镜放置在样品下面。集成闭环反馈传感器，保证长期高精度样品调整，一体式结构使得多维运动无耦合。
产品特性
· 三维压电式样品定位台
· 中心通孔45mm×45mm
· 定位精度高
· 运动范围可达x250/y250/z100μm
· 快速响应
闭环定位精度高
p12a.xy200z100系列压电纳米定位台配置高分辨率传感器，对位置实时检测并反馈到压电控制器，控制器通过pid算法调整电压修正位移，从而实现高精度定位。
带载阶跃时间
p12a.xy2z100带载100g，满行程阶跃时间60ms。
技术参数
型号：p12a.xy200z100s
运动自由度：xyz
行程范围（0~120v）：xy200/z80μm
行程范围（0~150v）：xy250/z100μm
闭环传感器：sgs
闭环分辨率：xy13/z7nm
闭环线性度：xy0.1/z0.2%f.s.
闭环重复定位精度：xy0.05/z0.1%f.s.
空载谐振频率：xy240/z150hz
承载能力：500g
静电电容：xy7.2/z1.8μf
材质：钢、铝